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Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺,六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)。