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壓電陶瓷偏擺臺(tái),高負(fù)載通孔型,XY方向

簡(jiǎn)要描述:Carrier.S100/200.XY.C,壓電陶瓷偏擺臺(tái),高負(fù)載通孔型,XY方向
Carrier.S 系列,標(biāo)準(zhǔn)型

  • 產(chǎn)品型號(hào):Carrier.Sxxx.XY.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-06-18
  • 訪  問  量:382

詳細(xì)介紹

掃描運(yùn)動(dòng)·高負(fù)載通孔型 Carrier.S100/200.XY.C

? 高負(fù)載·高速XY平面運(yùn)動(dòng),大通孔設(shè)計(jì),并聯(lián)·水平運(yùn)動(dòng)構(gòu)型+電容閉環(huán)傳感


兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng) 100 um * 100 um/ 200 um * 200 um

閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm;

最大負(fù)載 5 kg

針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案

?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí);

壓電陶瓷偏擺臺(tái),高負(fù)載通孔型,XY方向——詳細(xì)參數(shù):



壓電陶瓷偏擺臺(tái),高負(fù)載通孔型,XY方向——尺寸圖

壓電陶瓷偏擺臺(tái),高負(fù)載通孔型,XY方向


多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列(標(biāo)準(zhǔn)型)和Carrier.SL 系列(輕量型)。Carrier.S & SL 系列主要針對(duì)精密光學(xué),半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景,覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求,核心特點(diǎn)包括:

運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)

X,Z,XY,XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持

線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長(zhǎng)時(shí)間疲勞測(cè)試

• 支持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)








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