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壓電陶瓷位移臺(tái),X軸掃描,兼容無(wú)磁高真空

簡(jiǎn)要描述:Sxxx.X.C,壓電陶瓷位移臺(tái),X軸掃描,兼容無(wú)磁高真空
緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系,X 方向大行程

  • 產(chǎn)品型號(hào):Sxxx.X.C
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-03-11
  • 訪  問(wèn)  量:910

詳細(xì)介紹

壓電·單維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.X.C

? 標(biāo)準(zhǔn)單軸掃描運(yùn)動(dòng)模塊,支持電容閉環(huán)控制

 

 

X 方向運(yùn)動(dòng)范圍 100-500 um;

外形尺寸,50 mm x 50 mm x 17 mm;

閉環(huán)定位精度優(yōu)于3 nm (開(kāi)環(huán)版本可選);

最大負(fù)載 500 g

支持無(wú)磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級(jí);

 

壓電陶瓷位移臺(tái),X軸掃描,兼容無(wú)磁高真空——詳細(xì)參數(shù):

 

 


壓電陶瓷位移臺(tái),X軸掃描,兼容無(wú)磁高真空——尺寸圖

壓電陶瓷位移臺(tái),X軸掃描,兼容無(wú)磁高真空

 

多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型”解決方案主要包含:

S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列;

SD —— 高動(dòng)態(tài)系列;

SH —— 高負(fù)載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng)、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場(chǎng)景,支持電容閉環(huán)傳感,可選無(wú)磁/高真空/超高真空選件升級(jí)。

 

 

 

 

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